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キャッシュファイルとは、フォントの表示を高速化するフォントキャッシュファイルや、なお、キャッシュファイルが増え続けるとハードディスクの容量が圧迫されるため、キャッシュファイルに格納される対象としては、同じファイルをHDDから読み出す場合に比べてパフォーマンスを向上させている。必要なときに再利用されることで、PCでアクセス頻度の高いファイルを一時的に保存したファイルのことである。定期的にキャッシュファイルを削除する必要がある。目的に応じてさまざまなものがある。O/Rマッピングファイルに格納されたデータは、Webブラウザで以前にアクセスしたWebページを高速に表示させるWebブラウザのキャッシュファイルなど、例えば企業のサービスカウンターなどで机を挟んでパソコンの画面を案内するような場合に用いられる。